根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）數(shù)據(jù)顯示，2025年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額達(dá)1330億美元，其中中國(guó)大陸市場(chǎng)占比超40%，繼續(xù)引領(lǐng)全球產(chǎn)能擴(kuò)張。在這一進(jìn)程中，掩膜版作為制造流程中的“精度基準(zhǔn)”，其生產(chǎn)對(duì)環(huán)境要求極為嚴(yán)格，通常需維持在ISO Class 3至Class 5的高潔凈等級(jí)。顆粒物、溫濕度或靜電的微小波動(dòng)都可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效，對(duì)環(huán)境控制的穩(wěn)定性和精度構(gòu)成了極高挑戰(zhàn)。
以專業(yè)潔凈方案，護(hù)航國(guó)產(chǎn)高端掩膜版自主化征程
為加快掩膜版及環(huán)境控制系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，國(guó)內(nèi)企業(yè)正著力突破高精度環(huán)境控制與高端掩膜版制造等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通過(guò)推進(jìn)設(shè)備、材料和工藝的本地化研發(fā)，提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力。作為該領(lǐng)域的國(guó)家級(jí)專精特新企業(yè)，清溢光電南海生產(chǎn)基地的投產(chǎn)，標(biāo)志著28納米及以上制程的高端掩膜版實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化突破，有力推動(dòng)顯示與半導(dǎo)體領(lǐng)域高端掩膜版的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。
清溢光電南?；?/p>
精準(zhǔn)定制 + 硬核技術(shù)，AECiR艾思的潔凈圍護(hù)解決方案
面對(duì)掩膜版生產(chǎn)中對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性的極致要求，AECiR艾思基于對(duì)電子行業(yè)潔凈場(chǎng)景的深刻理解，為清溢光電量身打造了全場(chǎng)景圍護(hù)系統(tǒng)解決方案：
核心工藝區(qū)：采用高標(biāo)準(zhǔn)手工潔凈板，憑借優(yōu)異的保溫隔熱性能，將溫度波動(dòng)控制在±0.1℃范圍內(nèi)，有效維持環(huán)境穩(wěn)定，并助力達(dá)成ISO Class 5級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
設(shè)備與高負(fù)荷區(qū)域：運(yùn)用防靜電潔凈板，具備輕質(zhì)高強(qiáng)、抗微振特性，振幅控制在1μm以內(nèi)，同時(shí)表面電阻滿足10?–10?Ω防靜電要求，為設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行提供保障。整套系統(tǒng)通過(guò)高標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)與高效密封安裝，確保潔凈區(qū)壓差穩(wěn)定在15Pa以上，全面匹配掩膜版生產(chǎn)的嚴(yán)苛環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。
AECiR艾思全場(chǎng)景圍護(hù)系統(tǒng)解決方案
來(lái)自用戶的認(rèn)可
清溢光電佛山生產(chǎn)基地項(xiàng)目工程部負(fù)責(zé)人表示：“AECiR艾思不僅高效完成了圍護(hù)系統(tǒng)的交付，為我們爭(zhēng)取到關(guān)鍵的項(xiàng)目時(shí)間，更從方案設(shè)計(jì)到落地全程提供專業(yè)支持，其潔凈環(huán)境構(gòu)建能力完全符合半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求，保障了生產(chǎn)環(huán)境的長(zhǎng)期穩(wěn)定與可靠。憑借對(duì)電子行業(yè)潔凈需求的精準(zhǔn)把握與綜合技術(shù)能力，AECiR艾思為清溢光電高端掩膜版制造構(gòu)建起堅(jiān)實(shí)的環(huán)境屏障，實(shí)現(xiàn)了從產(chǎn)品供應(yīng)到整體潔凈價(jià)值交付的跨越。”
協(xié)同攻堅(jiān)，共赴國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體新征程
從單一產(chǎn)品供應(yīng)到整體解決方案輸出，AECiR艾思始終以技術(shù)創(chuàng)新響應(yīng)產(chǎn)業(yè)需求。未來(lái)，艾思將持續(xù)深耕潔凈領(lǐng)域，與更多半導(dǎo)體企業(yè)攜手，以專業(yè)潔凈方案賦能核心制造，助力中國(guó)半導(dǎo)體在全球高端市場(chǎng)占據(jù)重要地位，書(shū)寫(xiě)自主化發(fā)展的新篇章。
